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微机电系统上的微海南变器     一个典型的MEMS产品主要由微海南变器、处理电路、微执行器、微能源等组成。而微机电海南变器是利用微机械加工技术与微电子加工技术制作的各种海南变器。大家都知道海南变器是将外部信号转化为电信号的一种装置，能感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件，通常由敏感元件和转换元件组成。
    敏感元件是海南变器中能直接感受或响应外界信号的部分，转换元件是海南变器中能将敏感元件感受或响应的外界信号转换成适合于传输或测量的电信号部分。微机电海南变器加工技术制作的各种海南变器，与传统技术制作的海南变器相比，具有以下特点：微型化和集成化，，高寿命，低成本，低功耗，快速响应。微海南变器的以上特点决定着其具有广阔的应用领域，在汽车、航空航天、生物医学、家用电器、环境测量、国防军事等均具有巨大的应用潜。
    一般所提到的微机电海南变器有几个大类：分别是阻海南变器，电容海南变器，电海南变器，谐振海南变器，隧道海南变器，热海南变器，光海南变器，化学海南变器，微海南变器等。这些微机电海南变器都有着不同的原理，但是有着相同类似的性能。他们都具有快速的响应速度，在微机电系统是不可缺少的器件。